Beschaffung Reactive Ion Etching System
Description du marché
Reaktives Ionenätzen (RIE) ist ein etabliertes Verfahren zur präzisen Strukturierung von Materialien im Nanometerbereich und spielt für unser Institut eine zentrale Rolle in der Bearbeitung zweidimensionaler Materialien. Für unsere geplanten Forschungsarbeiten im Bereich 2D-Materialien benötigen wir ein RIE-System, das ein kontrolliertes, anisotropes Ätzen mit hoher Selektivität und Prozessstabilität ermöglicht. Der zukünftige Einsatzschwerpunkt liegt auf der beschädigungsfreien Strukturierung von empfindlichen, einschichtigen Proben sowie der Übertragung lithografischer Maskenmuster auf nanoskaliger Ebene. Ziel ist es, durch den Einsatz von RIE unter anderem Elektrodenstrukturen auf 2D-Materialien mit hoher Prä-zision und Reproduzierbarkeit herzustellen.
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