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Award notice Instruments de mesure 🇪🇺 TED

Electron beam lithography (EBL) and laser beam lithography (LBL) systems

🌍 Finlande

Publication

17/06/2025

Date limite

—

Valeur estimée

—

Donneur d'ordre

—

Codes CPV

38000000

Description du marché

A Dedicated EBL tool for fabrication of state of the art nano-scale structures. Contracting authority has a need for high precision and versatile tool which would be extremely useful in preparation of phononic and photonic structures, such as waveguides, gratings and meta-plasmonic structures. The EBL system should have good support for mix-and-match lithography, i.e. well documented procedures for sharing CAD pattern libraries for straightforward implementation in mix-and-match exposures with the LBL system in lot 2.

Valeur estimée

1.3M EUR

Procédure

Appel d'offres ouvert

Nature du contrat

Fournitures

Lieu d'exécution

FI193

Lauréat

Raith GmbH

Pouvoir adjudicateur

🏛 University of Jyväskylä, Jyväskylän yliopisto

📋 Organisme de droit public

✉️ hankinnat@jyu.fi

🔗 http://www.jyu.fi

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Qui peut répondre à ce marché Instruments de mesure ?

Ce marché est ouvert à toute entreprise répondant aux critères techniques et financiers définis dans le cahier des charges. La date limite de dépôt des offres est le non précisée. Les PME peuvent répondre en groupement d'entreprises.

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