Award notice
Matériel électrique
🇪🇺 TED
Equipement de dépôt LPCVD
🌍 France
Description du marché
Le CEA Grenoble pour ses activités de recherche visant à développer les technologies SOI d'un diamètre de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un système LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) compact basé sur un seul tube vertical. Ce système devra traiter automatiquement des plaquettes de 300 mm destiné au dépôt de silicium non dopé et dopé (avec du bore ou du phosphore).
Valeur estimée
1 EUR
Procédure
Procédure négociée avec publication
Nature du contrat
Fournitures
Durée du contrat
1 ans
Fonds européens
✓ Cofinancé par l'UE
Lieu d'exécution
FRK24
Lauréat
TOKYO ELECTRON EUROPE LIMITED
Pouvoir adjudicateur
🏛
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES, Grenoble
📋
Organisme de droit public
Gratuit · Sans carte bancaire
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