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Award notice Matériel électrique 🇪🇺 TED

Equipement de dépôt LPCVD

🌍 France
Publication
22/05/2026
Date limite
—
Valeur estimée
—
Donneur d'ordre
—
Codes CPV
31712100

Description du marché

Le CEA Grenoble pour ses activités de recherche visant à développer les technologies SOI d'un diamètre de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un système LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) compact basé sur un seul tube vertical. Ce système devra traiter automatiquement des plaquettes de 300 mm destiné au dépôt de silicium non dopé et dopé (avec du bore ou du phosphore).

Valeur estimée
1 EUR
Procédure
Procédure négociée avec publication
Nature du contrat
Fournitures
Durée du contrat
1 ans
Fonds européens
✓ Cofinancé par l'UE
Lieu d'exécution
FRK24
Lauréat
TOKYO ELECTRON EUROPE LIMITED

Pouvoir adjudicateur

🏛 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES, Grenoble
📋 Organisme de droit public
✉️ nadege.jolly@cea.fr
🔗 www.cea.fr
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Questions fréquentes

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