Fib-sem

Description du marché

Im Innovationszentrum Ulm werden in einem vom DLR zur Verfügung gestellten Reinraum in Zusammenarbeit von Industrie und DLR Quantenprozessoren auf Basis von negativ geladenen NV (nitrogen vacancy)-Zentren in Diamant gebaut. Für die Ausstattung dieses Reinraums werden Großgeräte beschafft, um die Entwicklung eines NV-Zentren-basierten Quantencomputers bestmöglich zu ermöglichen. Im Rahmen dieser Ausschreibung wird ein FIB-SEM-System zur gezielten Erzeugung von NV-Zentren in Diamant, sowie zur Oberflächenbearbeitung und -untersuchung beschafft. Ziel ist es, NV-Zentren im Diamanten möglichst positionsgenau zu erzeugen. Das FIB-SEM-System vereint eine FIB (focused ion beam)-Einheit und eine SEM (scanning electron microscope)-Einheit in einem Gerät. Die FIB-Einheit wird sowohl zum gezielten Implantieren mit isotopenreinen Ionenarten bzw. Beschießen eines (Diamant-) Substrats mit Ionen als auch zur Erzeugung von kleinen Strukturen mit einer Größe im Mikro- bzw. Nanometerbereich an der Oberfläche des Substrats verwendet. Durch die SEM-Einheit kön-nen kleinste Oberflächenstrukturen in der Größenordnung von wenigen Nanometern abgebildet und dadurch charakterisiert werden. Erweitert wird der Funktionsumfang des Geräts durch ein Gas-Injektions-System (GIS) und einen energiedispersiven Röntgenspektroskopie (EDS)-Detektor. Das Gerät wird von einer wechselnden Nutzer-gruppe mit unterschiedlichem Erfahrungslevel genutzt.

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