IMS Chips - Europaweite Vergabe einer vollautomatischen Reinigungsanlage zur Reinigung von Wafern und Masken

Description du marché

Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (nachfolgend auch "IMS") ist eine gemeinnützige Stiftung des bürgerlichen Rechts und Teil der Innovationsallianz Baden-Württemberg. Das IMS betreibt wirtschaftsnahe Forschung und Entwicklung auf den Gebieten Silizium-Technologie, Anwenderspezifische Schaltkreise (ASIC), Nanostrukturierung, GaN-Leistungselektronik, Photonik, großflächige MEMS und Bildsensorik und engagiert sich in der beruflichen Weiterbildung. Zu den Aufgaben des IMS gehört unter anderem die Bereitstellung von Infrastruktur, Beratungs-, Forschungs- und Entwicklungsdienstleistungen in diesen Bereichen für die Klein- und Mittelständische Industrie. Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung einer vollautomatischen Reinigungsanlage zur Reinigung von Wafern und Masken. Die Anforderungen an das zu beschaffenden Partikelmessgeräts ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung (Anlage 2). Weitere Einzelheiten zu der ausgeschriebenen Leistung, insbesondere den Entwurf der Verträge, erhalten die im Rahmen des Teilnahmewettbewerbs ausgewählten Bewerber mit Aufforderung zur Angebotsabgabe.

Pouvoir adjudicateur