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Award notice Instruments de mesure 🇪🇺 TED

Ionenstrahlätzanlage

🌍 Allemagne

Publication

02/10/2025

Date limite

—

Valeur estimée

—

Donneur d'ordre

—

Codes CPV

38000000

Description du marché

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtstrukturierung und -abscheidung eine Ionenstrahlätz- und Beschichtungsanlage aus, welche zum Ätzen und Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat bis zum 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Ätzprozesse verschiedener metallischer, halbleitender und isolierender Schichten sowie das Abscheiden metallischer und isolierender Schichten ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen). Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.

Valeur estimée

1.2M EUR

Procédure

Appel d'offres ouvert

Nature du contrat

Fournitures

Lieu d'exécution

Jena (DEG03)

Lauréat

scia Systems GmbH

Pouvoir adjudicateur

🏛 Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V., Jena

📋 Entreprise

✉️ saskia.bach@leibniz-ipht.de

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Qui peut répondre à ce marché Instruments de mesure ?

Ce marché est ouvert à toute entreprise répondant aux critères techniques et financiers définis dans le cahier des charges. La date limite de dépôt des offres est le non précisée. Les PME peuvent répondre en groupement d'entreprises.

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