Lieferung eines Hochtemperaturofens

Description du marché

Technische Kurzbeschreibung: Der anzuschaffende Hochtemperaturofen soll ähnlich zu einer industriellen Massenproduktionsanlage z.B. in neuen TOPCon-Zellfabriken sein, um neue Prozesse schnell in die Industrie transferieren zu können. Der Hochtemperaturofen soll aber auch möglichst flexibel einsetzbar sein, daher wird eine F&E Ausführung des Ofens mit verschiedenen Prozessmöglichkeiten für z.B. Oxidation, Bor- und Phosphordiffusion, dotierte LPCVD-Polysilizium-Abscheidung benötigt. Die Anlage wird am ISFH im Tagesschicht-Modus betrieben und braucht keine industriellen Durchsatze zu erfüllen, da das ISFH Solarzellen typischerweise in Batchgrößen von 100-300 Wafern prozessiert mit etwa 3 - 10 Batches pro Tag. Über Nacht und am Wochenende muss die Anlage in einen sicheren, verbrauchsarmen Standby-Modus überführt werden können.

Pouvoir adjudicateur