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Contract notice Instruments de mesure 🇪🇺 TED

maskenloses UV-Direktlithographie-System

🌍 Allemagne ⏳ J-12
Publication
22/05/2026
Date limite
2026-06-25
Valeur estimée
—
Donneur d'ordre
—
Codes CPV
38000000

Description du marché

Beschafft werden soll ein kompaktes, für den Reinraumeinsatz geeignetes Tischsystem zur maskenlo-sen UV-Direktlithographie für Forschung, Entwicklung und Kleinserien-Prototyping. Das System muss sowohl eine rasterbasierte Vollflächenbelichtung als auch einen zusätzlichen vektorbasierten Direkt-belichtungsmodus bereitstellen, um hochauflösende Mikro- und Nanostrukturen, Ausbesserungen bestehender Strukturen sowie konturtreue Linienbelichtungen auf unterschiedlichsten Substraten zu ermöglichen. Daraus ergeben sich folgende Mindestanforderungen: siehe Anlage 2.

Procédure
Appel d'offres ouvert
Nature du contrat
Fournitures
Fonds européens
✓ Cofinancé par l'UE
Lieu d'exécution
DEG03

Pouvoir adjudicateur

🏛 Friedrich-Schiller-Universität Jena, Jena
✉️ vergabestelle@uni-jena.de

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