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Award notice Instruments de mesure 🇪🇺 TED

OV_LK_3x2 Zoll Metallorganische Gasphasenepitaxie-Anlage (MOVPE / MOCVD)

🌍 Allemagne
Publication
21/03/2025
Date limite
—
Valeur estimée
—
Donneur d'ordre
—
Codes CPV
38000000

Description du marché

1 LE umfassend: Lieferung "frei Verwendungsstelle", Installation, Inbetriebnahme, Abnahme, Schulung, Bereitstellung notwendiger Dokumentation. Es handelt sich um eine 3x2 Zoll MOVPE / MOCVD Anlage zur Abscheidung von epitaktischen β-Ga2O3 Schichten. Die Anlage muss mit einem Showerhead ausgestattet sein, welcher den vollständig getrennten Transport von 2 Präkursor-(MO) Linien von den Bubblern zum Showerhead zulässt. Anwendungsfelder: Halbleiterdünnschichtabscheidung, Homo- und Heteroepitaxie, Oxidschichten.

Procédure
Appel d'offres ouvert
Nature du contrat
Fournitures
Durée du contrat
5 mois
Fonds européens
✓ Cofinancé par l'UE
Lauréat
AIXTRON SE

Pouvoir adjudicateur

🏛 Forschungsverbund Berlin e.V., Berlin
📋 Entreprise publique
✉️ vergabe@fv-berlin.de
🔗 http://www.leibniz-fvb.de
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