Overlay Messsystem - PR651747 - 2480 -W

Description du marché

Das Equipment sollte alle Anforderungen der vorliegenden Spezifikation und der mitgeltenden Dokumente erfüllen. Jegliche Änderungen oder Zusätze zur Equipment Spezifikation, die nach dem Kauf getätigt werden, müssen von Anbieter und Fraunhofer IPMS-CNT gegenseitig bestätigt werden. Das gesamte Equipment und alle Subsysteme müssen chemisch stabil sein. Das Gesamtsystem muss kompatibel zur RR-Klasse 6, in bestimmten Bereichen (z.B. Lithographie, Ultraspurenanalytik) zur RR-Klasse 3 nach EN ISO 14644-1 oder besser sein bzw. kompatibel zu den Anforderungen der mitgeltenden Technical General Tender Spezification (TGTS). Reinraum-Integrität muss gesichert sein. Alle Kabel oder andere Verbindungen im Equipment müssen klar erkennbar an beiden Enden und am Equipment selbst in Deutsch oder Englisch und mit Bezug zur mitgelieferten Equipment-Dokumentation gekennzeichnet sein.

Pouvoir adjudicateur