Pachet fotolitografie

Description du marché

“Pachet fotolitografie” – 1 buc. Pachetul de fotolitografie trebuie să permită în mod eficient și reproductibil (în configurația minimă solicitată) atât (1) realizarea de microstructuri prin fotolitografie clasică (convențională) cât și (2) realizarea de nanostructuri prin nanoimprimare care pot fi utilizate in aplicațiile de ultimă generație din domenii precum: micro- și nanoelectronicii, optoelectronicii, fotonicii, medical, etc. Pachetul poate fi compact sau poate fi modular, cu condiția să îndeplinească următoarele cerințe: (a) Pentru procesul de fotolitografiere convențională, capabilitate de realizare de microstructuri, atât pe substraturi rigide cât și pe substraturi flexibile de grosimi diferite utilizând diferite grosimi de fotorezist, cu o rezoluție de minim 4 μm și o precizie la aliniere de minim 1 µm; (b) Pentru procesul de nanoimprimare, capabilitate de realizare de nanostructuri având o rezoluție între 50 nm și 100 nm, pe substraturi rigide și flexibile de grosimi diferite utilizând diferite grosimi de fotorezist; Pachetul de fotolitografie trebuie să fie prevăzut cu: (i) software de comandă și control pentru definirea proceselor de iradiere dorite; (ii) sistem de aliniere, vital, pentru ambele tipuri de procese (fotolitografie și nanoimprimare); (iii) sistemul de iradiere bazat pe lampă de tip: LED cu radiație în domeniul UV ( lungimi de undă cuprinse în domeniul 300 nm - 450 nm). (iv) plită pentru tratament termic de până la 250°C . (v) facilitate/aparat (coater) care să permită acoperirea uniformă cu fotorezist a substraturilor cu diametrul de minim 150 mm.

Pouvoir adjudicateur