Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS) zur Anbringung Aufdampf-Clustertool - PR670473-2270-W

Description du marché

1 Stück Plasmaoxidationsmodul (200mm, CMOS) zur Anbringung Aufdampf-Clustertool Das Plasmaoxidationsmodul soll, angebracht an einen freien Port des Aufdampfclusters, ein präzises Erzeugen von dünnen Oxidschichten (zB auf Si oder Al) ermöglichen. Die Oxidation geschieht hierbei plasmaunterstützt und erlaubt daher eine Verwendung geringer Prozesstemperaturen, was zB bei der Oxidierung von Aluminium unabdingbar ist. Unter anderem, soll durch das Erzeugen sehr dünner (<10nm) und dichter Aluminium-Oxid Schichten die Qualität und Reproduzierbarkeit von Tunnel-Strukturen in Quantenbauelementen gewährleistet werden. In Kombination mit dem Aufdampfcluster können Quantenstrukturen hergestellt werden, ohne das Vakuum zu brechen und die Proben damit natürlicher Oxidation auszusetzen. Optionen: 3.15. Ein optisches Emissions-Spektrometer ist optional anzubieten 6.4. Als Option ist ein Ersatzteilkit gemäß üblicher Ersatzteillisten (wöchentlich, monatlich, viertel-/halbjährlich, jährlich) anzubieten für einen 24/7 Betrieb. Das Kit soll alle typischen Ersatzteile enthalten, um den reibungslosen Betrieb der Anlage über eine Laufzeit von 24 Monaten gewährleisten zu können 6.5. Als Option ist eine Garantieverlängerung um 12 weitere Monate anzubieten 6.9. Als Option sollen zusätzliche Trainingsschulungen für Operators und Prozessingenieure (für mindestens 3 Personen) angeboten werden 7.5. Eine separate Pre-installation Box für alle Medien (Vakuum, Wasser, Luftkühlung, Abgas, Ethernet, Gase, etc.) ist als Option anzubieten. Ein kompakt aufgebautes Supportmodul wird vorteilhaft bewertet

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