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Award notice Instruments de mesure 🇪🇺 TED

System for electron beam lithography - REISSUE

🌍 Tchéquie
Publication
10/12/2024
Date limite
—
Valeur estimée
EUR
Donneur d'ordre
—
Codes CPV
38636000

Description du marché

Předmětem veřejné zakázky je dodávka systému pro vytváření libovolných tvarů s rozlišením v řádu alespoň 20 nm pomocí fokusovaného svazku elektronů na povrchu pokrytém elektronově citlivým filmem. Systém musí dále umožňovat selektivní odstranění exponovaných nebo neexponovaných oblastí povrchu.

Valeur estimée
1.0M EUR
Procédure
Appel d'offres ouvert
Nature du contrat
Fournitures
Durée du contrat
11 mois
Fonds européens
✓ Cofinancé par l'UE
Lieu d'exécution
CZ010
Lauréat
Raith GmbH

Pouvoir adjudicateur

🏛 Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., Praha
✉️ kafkav@fzu.cz
🔗 https://www.fzu.cz
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