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Award notice Instruments de mesure 🇪🇺 TED

toestel voor de deponering van dikke oxide-diëlectrica

🌍 Belgique
Publication
22/05/2026
Date limite
—
Valeur estimée
EUR
Donneur d'ordre
Imec EU Pilot line NV
Codes CPV
38000000-5

Description du marché

de aankoop van een toestel voor de deponering van dikke oxide-diëlectrica Dit is een 300 mm verwerkingsplatform met drie kamers. Het bevat: • Een module voor het aanbrengen van micron-dikke (>20 µm) diëlektrische lagen, bedoeld voor gap-fill toepassingen. • Een module voor diëlektrische depositie aan de achterzijde van de wafer, gebruikt voor spanningscompensatie. • Een Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PeCVD) module voor het aanbrengen van standaard diëlektrische materialen.

Procédure
Procédure négociée avec publication
Nature du contrat
Fournitures
Lieu d'exécution
Arrondissement de Dixmude

Pouvoir adjudicateur

🏛 Imec EU Pilot line NV

Secteur d'activité

Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes)

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