FBH_Hook-Up:Stepper 3_techn. Gase

Description du marché

Der Auftraggeber, das Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik ( FBH), betreibt auf dem Grundstück Max-Plank-Straße 3 in 12489 Berlin des Zentrums für Mikrosystemtechnik und Materialien, Bauteil 05 den Reinraum-2. Der Reinraum-2 inkl. Graubereiche hat eine Grundfläche von 1.100 m². Hier sind bereits ca. 60 Prozessanlagen installiert und in Betrieb. Zur Erweiterung der Produktionskapazitäten wird in diesen Reinraum eine weitere Prozessanlage für Lithographie-Anwendungen unter der Bezeichnung STEPPER-3 eingebracht. Die Prozessanlage STEPPER-3 verfügt neben der Hauptanlage über weitere Geräte, wie z.B. zwei separate interne Schaltschränke, ein Wärmetauscher-Kabinett sowie ein dezentrales Gas-Versorgungskabinett, die als Gesamtheit an die vorhandenen Grundversorgungssysteme anzuschließen sind. Der Druckluftbedarf der neuen Prozessanlage erfordert die Erhöhung der Versorgungskapazität des Druckluftsystems des Reinraums. Diese wird im Rahmen der Hook-up Installationen ausgeführt. In der Regel und wenn nicht anders spezifiziert werden interne Medienleitungen (Interconnects = IC) durch den Anlagenhersteller beigestellt und verlegt. Die Leistungen des LOS 1 umfassen die Medienanschlüsse Anschluss DL, He/O2-Gemisch an STEPPER-3 Anschluss N2 5.0 an He/O2 Schrank Ausbau und IBN He/O2 Sondergasschrank Weitere Angaben sind dem LV zu entnehmen. Ausführungsbeginn: 09.01.2025 Ausführungsende: 31.03.2025

Pouvoir adjudicateur